Для измерения емкости полупроводниковых приборов в настоящее время широко используются метод емкостно-омического делителя, который приводит к относительно простым и быстродействующим измерителям, однако обладает невысоким соотношением сигнал-шум в связи с ограничением измерительного напряжения из-за нелинейности объекта измерения. В статье предлагается использовать метод емкостного делителя, позволяющий значительно увеличить сигнал, снимаемый с измерительной схемы и тем самым снизить его шумовую составляющую, а для получения выходного напряжения, пропорционального измеряемой емкости, применить схему с пространственным разделением каналов измерения.